羅茨滑閥泵真空機組是運用轉子和可在轉子槽內滑動的旋片的旋轉運動以獲得真空的一種變容機械真空泵。中選用作業液來停止潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的羅茨滑閥泵真空機組。
羅茨滑閥泵真空機組是由高壓級與低壓級二部分組成，它的吸入口與真空容器或真空設備連接，在運轉時容器內的氣體將大量吸入與排出。當設備獲得真空時，高壓級排氣閥片將封閉，高壓級吸入的氣體將轉送到第二級，并經第二級吸入與排出，這樣真空設備可獲得一定的真空。根據用戶使用情況，可配備真空增壓泵，將該泵做為前級泵，由于增壓泵的抽氣力加強，前級泵連續抽除，能使設備獲得更高的真空。
羅茨滑閥泵真空機組是一種旋轉式變容真空泵，應用十分廣泛，因此如何維護及保養是非常重要的問題，一般來說羅茨滑閥泵真空機組的維護事項包括以下幾類：
1.羅茨滑閥泵真空機組很熱，這是因為我們選擇了前級泵抽速不夠，造成壓縮比過大入口壓力過高，冷卻不良，齒輪箱潤滑油過高，轉子與泵殼接觸，齒輪、軸承、油封潤滑不良所造的。解決的辦法其實也不難，只要我們重新選用前級泵，調整，控制入口壓力，暢通冷卻，調整油量，修整，保證油量適當，潤滑良好；
2.在工作中運行不穩定、噪聲過大、效率低等等，這些問題其實其實就是和我們自己的保養中有關系的，首先工作不穩定，是因為電壓、組裝不得當等等的原因造成的。噪聲過大是因為安裝平穩或是潤滑不夠而造成的，因此不妨試著把機子潤滑一下；
3.羅茨滑閥泵真空機組有時管道通導能力不夠，前級泵抽速下降，溢流閥處漏氣，而導致抽速不足等等，決絕辦法就是增大管道通導能力，修理或更換前級泵，對溢流閥處進行清理。
4.羅茨滑閥泵真空機組不能單獨使用，必需配上前級泵組成機組，使用前級真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力，由于羅茨真空泵的緊縮比是有限的，所以選擇前級真空泵的抽速是相當重要的。
5.如長時間停止使用或在嚴寒季節，停車后排凈水沖泵箱體內存水，旋開水沖泵泵體排水堵頭將存水排凈，避免凍裂箱體、泵體，同樣羅茨真空泵需將泵體水套內的冷卻水放出避免凍裂。
